libcats.org
Главная

Micro Mechanical Systems: Principles and Technology

Обложка книги Micro Mechanical Systems: Principles and Technology

Micro Mechanical Systems: Principles and Technology

,
In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems. Section two covers the areas of photolithographic microfabrication, basic concepts of planar processing, materials, and processes. Section three looks at micromachining by machine tools, its history, basic principles and preparation methods. Section four discusses tribological aspects of microsystems. Section five covers fabrication, performance and examples of silicon microsensors. Section six looks at electric and magnetic micro-actuators for micro-robots. Section seven covers energy source and power supply methods. Section eight covers controlling principles and methods of micro mechanical systems and section nine gives examples of microsystems and micromachines. The final section discusses the future problems and outlook of micro mechanical systems.
Популярные книги за неделю:

Станислав Гимадеев. Принцип четности

Автор:
Размер книги: 829 Kb

О физической природе шаровой молнии

Автор:
Категория: science, science, exact
Размер книги: 5.03 Mb

Ключ к сверхсознанию

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 309 Kb

Древо жизни

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 1.70 Mb

Здоровье надо созидать

Автор:
Категория: Здоровье
Размер книги: 363 Kb
Только что пользователи скачали эти книги:

Tepper, Sheri S - Awakeners 1 - Northshore

Автор:
Размер книги: 469 Kb

A geometric approach to free boundary problems

Автор:
Категория: Differential equations
Размер книги: 1.36 Mb

Тунис. Путеводитель

Автор: , Автор:
Категория: info, guide, society, country
Размер книги: 23.12 Mb

2G 28 Aires Mateus

Автор: , Автор:
Категория: Строительство
Размер книги: 28.26 Mb

The US Army in World War II: North-West Europe

Автор: , Автор:
Категория: history_military
Размер книги: 16.24 Mb

What Einstein Told His Cook: Kitchen Science Explained

Автор:
Размер книги: 368 Kb