Сегнетоэлектрические тонкие пленки в микроэлектронике
Сигов А.С.
На примере сегнетоэлектрических пленок рассмотрены удивительные свойства так называемых умных диэлектриков. Показана возможность включения таких пленок в современные технологии полупроводниковой микроэлектроники, что открывает широкие возможности создания новых видов устройств хранения и обработки информации
