На примере сегнетоэлектрических пленок рассмотрены удивительные свойства так называемых умных диэлектриков. Показана возможность включения таких пленок в современные технологии полупроводниковой микроэлектроники, что открывает широкие возможности создания новых видов устройств хранения и обработки информации

Читать «Сегнетоэлектрические тонкие пленки в микроэлектронике»

Купить электронную версию