Настоящая рабочая программа устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности. Предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, и студентов специальности 200100 - Микроэлектроника и твердотельная электроника, участвующих в процессе изучения дисциплины. Целью дисциплины является научить студентов способам нанесения, удаления и модифицирования вещества на микро- и наноуровне, используемых при создании компонентов твердотельной электроники и интегральных микросхем

Скачать книгу бесплатно (pdf, 217 Kb)

---

Читать «Процессы микро- и нанотехнологии. Рабочая программа дисциплины»