Процессы микро- и нанотехнологии. Рабочая программа дисциплины
Аверин И.А.
Настоящая рабочая программа устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности. Предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, и студентов специальности 200100 - Микроэлектроника и твердотельная электроника, участвующих в процессе изучения дисциплины. Целью дисциплины является научить студентов способам нанесения, удаления и модифицирования вещества на микро- и наноуровне, используемых при создании компонентов твердотельной электроники и интегральных микросхем
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
