Поверхностные фазы и выращивание микроэлектронных структур на кремнии
Лифшиц В.Г.
Описаны условия формирования поверхностных фаз на кремнии в сверхвысоком вакууме. Обсуждается построение диаграмм различных поверхностных фаз. Статья содержит обзор данных об образовании двух- и трехкомпонентных поверхностных фаз на кремнии при процессах соадсорбции. Рассмотрены результаты изучения дельта-легирования, в котором дельта-легированные слои суть поверхностные фазы
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
