Методический сборник разработан в соответствии с государственными образовательными стандартами высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированного специалиста 654100 - ''Электроника и микроэлектроника'' (специальность 200400 - ''Промышленная электроника'') и направлению подготовки бакалавра 550700 - ''Электроника и микроэлектроника''. Сборник содержит рабочую программу, тематический план лекций, перечень основной и дополнительной литературы, задание на курсовую работу и методические указания к ее выполнению. В рабочей программе рассмотрены основы пленочной и полупроводниковой микроэлектроники; особенности изготовления ИМС, БИС, СБИС, микросборок, вопросы разработки и проектирования различных типов ИМС, основы функциональной микроэлектроники. Методические указания к выполнению курсовой работы разработаны для оказания помощи студентам и содержат методики расчета тонкопленочных элементов, методические указания и рекомендации по разработке топологии и технологии изготовления ИМС, а также необходимые для выполнения работы справочные данные. Рассмотрены основные технологические методы и циклы изготовления тонкопленочных ИМС
