Сформулированы теоретические основы и изложены методические указания к выполнению лабораторных работ. В лабораторных работах 6, 7, 8, 9,10 исследуются контактные и поверхностно-чувствительные процессы в неоднородных структурах, являющихся элементной базой интегральной электроники и оптики, а также возможности неразрушающего контроля их качества. Комплексы лабораторных работ отвечают рабочей программе дисциплины и разработаны в соответствии с требованиями Государственного стандарта высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 654300 (специальность 200800 - ''Проектирование и технология РЭС'') и направлению подготовки бакалавров 551100 - ''Проектирование и технология электронных средств''.

Скачать книгу бесплатно (pdf, 876 Kb)

---

Читать «Физические основы микроэлектроники. Часть 2: Методические указания к выполнению лабораторных работ»