Описание лабораторной работы по курсу ''Физические основы микроэлектроники'' предназначено для студентов старших курсов физического факультета ННГУ, обучающихся по специальностям 010803 - ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'' и 202000 - ''Нанотехнология в электронике''
