Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем: Учебное пособие
Ворзобова Н.Д., Денисюк И.Ю.
В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению ''Фотоника и оптоинформатика'', а также студентов других оптических и информационных специальностей
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
