В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению ''Фотоника и оптоинформатика'', а также студентов других оптических и информационных специальностей

Скачать книгу бесплатно (pdf, 4.00 Mb)

---

Читать «Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем: Учебное пособие»