Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности ''Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники'' и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях

Скачать книгу бесплатно (pdf, 4.85 Mb)

---

Читать «Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие»