Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу ''Процессы микро- и нанотехнологий'', входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 ''Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника'' и посвящена изучению технологий очиcтки материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также фотолитографии, технологии изготовления МДП - интегральных микросхем и планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных транзисторах.
Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.
При подготовке лабораторного практикума были использованы методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ ''Протон'' г. Зеленоград

Скачать книгу бесплатно (pdf, 3.65 Mb)

---

Читать «Процессы микро- и нанотехнологий: Лабораторный практикум. Часть 2»