Процессы микро- и нанотехнологий: Лабораторный практикум. Часть 2
Шутов Д.А., Ситанов Д.В.
Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу ''Процессы микро- и нанотехнологий'', входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 ''Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника'' и посвящена изучению технологий очиcтки материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также фотолитографии, технологии изготовления МДП - интегральных микросхем и планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных транзисторах.
Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.
При подготовке лабораторного практикума были использованы методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ ''Протон'' г. Зеленоград
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
