Основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие
Неволин В.К.
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшениемлинейных размеров функциональных элементов. Если их размерыстановятся порядка нанометров, то существенными являютсяквантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы.Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на ихоснове занимается нанотехнология. В пособии изложены физические основы зондовойнанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения,обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов,желающих познакомиться с новым научным направлением ипопробовать свои силы в развитии технологии 21 века.
