libcats.org
Главная

Post-Processing Techniques for Integrated MEMS

Обложка книги Post-Processing Techniques for Integrated MEMS

Post-Processing Techniques for Integrated MEMS

Sedky (physics, The American University, Cairo, Egypt) investigates the possibility of developing high-quality MEMS structural layers at temperatures compatible with the standard CMOS backend. He first reviews MEMS fabrication technologies, then defines the maximum thermal budget that can be accommodated by prefabricated standard electronics. He highlights the features of different materials suitable for MEMS, and discusses the effect of deposition conditions and the type of substrate on the physical properties of the different materials. Silicon germanium as a MEMS structural layer is also discussed in detail.
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
Популярные книги за неделю:

Ключ к сверхсознанию

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 309 Kb

Genki 1: An Integrated Course in Elementary Japanese 1

Автор: , Автор: , Автор: , Автор: , Автор:
Размер книги: 172.22 Mb

Contemporary Theatre, Film and Television, Volume 97

Автор:
Размер книги: 3.18 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:

Кровезамещающая жидкость

Автор:
Размер книги: 48 Kb

SAS. Руководство по выживанию

Автор:
Категория: people, people, survival
Размер книги: 60.44 Mb

Cardiac Surgery - Congenital Heart Disease

Автор: , Автор:
Размер книги: 168.61 Mb

The Intelligent Investor

Автор: , Автор:
Размер книги: 3.38 Mb