|
|
libcats.org
Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor DevicesH. FukudaThis volume is a collection of papers which were presented at the 2001 International Conference on Rapid Thermal Processing (RTP 2001) held at Ise Shima, Mie, on November 14-16, 2001. This symposium is second conference followed the previous successful first International RTP conference held at Hokkaido in 1997. The RTP 2001 covered the latest developments in RTP and other short-time processing continuously aiming to point out the future direction in the Silicon ULSI devices and II-VI, III-V compound semiconductor devices.This book covers the following areas: advanced MOS gate stack, integration technologies, advancd channel engineering including shallow junction, SiGe, hetero-structure, novel metallization, inter-connect, silicidation, low-k materials, thin dielectrics including gate dielectrics and high-k materials, thin film deposition including SiGe, SOI and SiC, process and device modelling, Laser-assisted crystallization and TFT device fabrication technologies, temperature monitoring and slip-free technologies.
Популярные книги за неделю:
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Только что пользователи скачали эти книги:
Владимир Кнари. Сделать правильный шаг (рецензия на дилогию "Искатели неба" С.Лукьяненко)Автор:
Размер книги: 12 Kb
М.Е.Позин. Технология минеральных солей ч.1 (удобрений, пестицидов, 1974, djvu)Автор:
Размер книги: 8.73 Mb
Товароведная характеристика и экспертиза качества водокАвтор: Вытовтов А.А., Автор: Басати И.А.
Размер книги: 959 Kb
Pressure vessel design handbookАвтор: Henry H. BednarКатегория: Electronical-Computer-Mechanical
Размер книги: 18.07 Mb
British Forces in North America 1793-1815Автор: Rene Chartrand, Автор: Gerry Embleton
Размер книги: 29.64 Mb
Sound Source Localization (Springer Handbook of Auditory Research)Автор: Richard R. FayКатегория: Biology
Размер книги: 4.43 Mb
Amyloidosis: Diagnosis and Treatment (Contemporary Hematology)Автор: Morie A. Gertz, Автор: S. Vincent Rajkumar
Размер книги: 4.09 Mb
Education at a Glance 2011: OECD Indicators (Centre for Educational Research and Innovation )Автор: OECD
Размер книги: 5.22 Mb
|
|
|