|
|
libcats.org
Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor DevicesH. FukudaThis volume is a collection of papers which were presented at the 2001 International Conference on Rapid Thermal Processing (RTP 2001) held at Ise Shima, Mie, on November 14-16, 2001. This symposium is second conference followed the previous successful first International RTP conference held at Hokkaido in 1997. The RTP 2001 covered the latest developments in RTP and other short-time processing continuously aiming to point out the future direction in the Silicon ULSI devices and II-VI, III-V compound semiconductor devices.This book covers the following areas: advanced MOS gate stack, integration technologies, advancd channel engineering including shallow junction, SiGe, hetero-structure, novel metallization, inter-connect, silicidation, low-k materials, thin dielectrics including gate dielectrics and high-k materials, thin film deposition including SiGe, SOI and SiC, process and device modelling, Laser-assisted crystallization and TFT device fabrication technologies, temperature monitoring and slip-free technologies.
Популярные книги за неделю:
Проектирование и строительство. Дом, квартира, садАвтор: Петер Нойферт, Автор: Людвиг Нефф
Размер книги: 20.83 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Радиолюбительские схемы на ИС типа 555Автор: Трейстер Р.Категория: Электротехника и связь
Размер книги: 13.64 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Moon, Elizabeth - Lunar Activity SS 10 - Those Who Walk in DarknessАвтор: Moon Elizabeth
Размер книги: 58 Kb
Molecular biology of the parathyroidАвтор: Tally Naveh-Many, Автор: MyiLibrary., Автор: SpringerLink (Online Service)
Размер книги: 5.88 Mb
Business Reporting - Business StatisticsАвтор: G T GeisКатегория: Statistics Probability
Размер книги: 1.48 Mb
Руководство по анестезиологииАвтор: И. И. КарасевКатегория: 2208513-Библиотека анестезиология, реанимация, интенсивная терапия, ск, 1-1, Анестезиология
Размер книги: 6.36 Mb
Технология глубокой переработки нефти и газаАвтор: Ахметов С.А.Категория: Техническая литература
Размер книги: 27.58 Mb
Reinforcement Learning: An Introduction (Adaptive Computation and Machine Learning)Автор: Richard S. Sutton, Автор: Andrew G. Barto
Размер книги: 3.85 Mb
Το μικρό Κοάλα, στον παιδικό σταθμόАвтор: Berkane Nadia (Νάντια Μπερκάν) μετάφραση: Σέτη Λεπίδα εικονογράφηση: Αλέξις Νεσμέ
Размер книги: 753 Kb
|
|
|