libcats.org
Главная

Principles of Plasma Discarges and Materials Processing

Обложка книги Principles of Plasma Discarges and Materials Processing

Principles of Plasma Discarges and Materials Processing

,
Timely, authoritative, pedagogically consistent— a valuable professional resource and a superior didactic tool. Authored by two internationally respected pioneers in the field, this book offers a fully integrated, pedagogically consistent presentation of the fundamental physics and chemistry of partially ionized, chemically reactive, low-pressure plasmas and their roles in a wide range of plasma discharges and processes used in thin film processing applications—especially in the fabrication of integrated circuits. With many fully worked examples, practice exercises, and clear demonstrations of the relationship of plasma parameters to external control parameters and processing results, this book combines the best qualities of a student text and a professional resource.
  • In-depth coverage of the fundamentals of plasma physics and chemistry—includes separate chapters on atomic and molecular collisions
  • Applies basic theory to plasma discharges, including calculations of plasma parameters and scaling of plasma parameters with control parameters
  • Applies results to basic processing mechanisms and the effects of plasma parameters on those mechanisms
  • Uses numerous worked examples to demonstrate the relationships between control parameters, plasma parameters, and processing results
Популярные книги за неделю:

О физической природе шаровой молнии

Автор:
Категория: science, science, exact
Размер книги: 5.03 Mb

Ключ к сверхсознанию

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 309 Kb

Древо жизни

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 1.70 Mb

Здоровье надо созидать

Автор:
Категория: Здоровье
Размер книги: 363 Kb
Только что пользователи скачали эти книги:

Jennifer Roberson - CotC 3 - Legacy of the Sword

Автор:
Размер книги: 825 Kb

Владимир Аренев. Хижина дядюшки Сэма

Автор:
Размер книги: 91 Kb

Юрий Зыков. Город

Автор:
Размер книги: 2 Kb

CompTIA Security+ All-in-One Exam Guide

Автор: , Автор: , Автор: , Автор: , Автор:
Размер книги: 9.22 Mb

The Handbook to Going Raw

Автор:
Размер книги: 52.54 Mb

The Very Hungry Caterpillar

Автор:
Категория: fiction
Размер книги: 1.50 Mb