|
|
libcats.org
Ion Implantation and Synthesis of MaterialsMichael Nastasi, James W. MayerIon implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is an essential feature of implantation. Ion beam processing can also be used to improve corrosion resistance, to harden surfaces, to reduce wear and, in general, to improve materials properties. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials. It covers ion-solid interactions used to predict ion ranges, ion straggling and lattice disorder. Also treated are shallow-junction formation and slicing silicon with hydrogen ion beams. Topics important for materials modification, such as ion-beam mixing, stresses, and sputtering, are also described.
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
Популярные книги за неделю:
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Только что пользователи скачали эти книги:
Мягкие зеркала (полная версия)Автор: Павлов Сергей ИвановичКатегория: Космическая фантастика
Размер книги: 1.08 Mb
A Contemporary Introduction to Free Will (Fundamentals of Philosophy)Автор: Robert Kane
Размер книги: 1.51 Mb
Mediation For Managers: Getting Beyond Conflict to Performance (People Skills for Professionals)Автор: John Crawley, Автор: Katherine Graham
Размер книги: 3.87 Mb
|
|
|