|
|
libcats.org
Introduction to MicrofabricationSami FranssilaMicrofabrication is the key technology behind integrated circuits, microsensors, photonic crystals, ink jet printers, solar cells and flat panel displays. Microsystems can be complex, but the basic microstructures and processes of microfabrication are fairly simple. Introduction to Microfabrication shows how the common microfabrication concepts can be applied over and over again to create devices with a wide variety of structures and functions.Featuring:* A comprehensive presentation of basic fabrication processes* An emphasis on materials and microstructures, rather than device physics* In-depth discussion on process integration showing how processes, materials and devices interact* A wealth of examples of both conceptual and real devicesIntroduction to Microfabrication includes 250 homework problems for students to familiarise themselves with micro-scale materials, dimensions, measurements, costs and scaling trends. Both research and manufacturing topics are covered, with an emphasis on silicon, which is the workhorse of microfabrication.This book will serve as an excellent first text for electrical engineers, chemists, physicists and materials scientists who wish to learn about microstructures and microfabrication techniques, whether in MEMS, microelectronics or emerging applications.
Популярные книги за неделю:
Проектирование и строительство. Дом, квартира, садАвтор: Петер Нойферт, Автор: Людвиг Нефф
Размер книги: 20.83 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Радиолюбительские схемы на ИС типа 555Автор: Трейстер Р.Категория: Электротехника и связь
Размер книги: 13.64 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Grzimek's Animal Life Encyclopedia. Mammals 3Автор: Michael HutchinsКатегория: Biology, Encyclopaediae
Размер книги: 14.47 Mb
Frommer's Costa Rica 2010 (Frommer's Color Complete Guides)Автор: Eliot Greenspan
Размер книги: 50.33 Mb
Illustrated History of Furniture: From the Earliest to the Present TimeАвтор: Frederick LitchfieldКатегория: История
Размер книги: 91.71 Mb
Телевидение цветное и черно-белоеАвтор: Крыжановский В.Д., Автор: Костыков Ю.В.
Размер книги: 2.69 Mb
Six Not-So-Easy Pieces: Einstein's Relativity, Symmetry, and Space-TimeАвтор: Richard P. Feynman, Автор: Robert B. Leighton, Автор: Matthew SandsКатегория: P_Physics, PPop_Popular-level
Размер книги: 1.38 Mb
|
|
|