Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.


скриншот страницы

Скачать книгу бесплатно (djvu, 3.88 Mb)

---

Читать «Физические основы микроэлектроники. Учебник для студентов высших учебных заведений»