В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплутацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин. Книга предназначена для инженерно-технических работников проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентам вузов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому машиностроению. книги в тему: Розанов Л.Н. Вакуумная техника Вакуумная техника (Справочник) Е.С.Фролов, В.Е.Минайчев В.И.Кузнецов и др. Эксплуатация вакуумного оборудования Данилин Б.С. Вакуум и eгo применение
