libcats.org
Главная

Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

Аннотация издательства: В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.
Популярные книги за неделю:
#5

ВАЗ 2110i, -2111i, -2112i

Категория: civil, civil, transport
57.35 Mb
Только что пользователи скачали эти книги: