Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники АППАРАТУРА,НАУКА и УЧЕБА,ТЕХНИКА Автор:Сазонова А.А.Название:Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроникиИздательство:Радио и Связь Год:1988 Страниц:264 Формат:djvu Размер:2,27 MbРассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования- Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированныхязыков и языков пользователя.Для студентов вузов приборостроительных специальностей. 51 1 2 3 4 5
