- 2 402 202 книги
- Поиск
libcats.org
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Авторы: Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова. Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Популярные книги за неделю:
Проектирование и строительство. Дом, квартира, сад
Автор: Петер Нойферт, Автор: Людвиг Нефф
Размер книги: 20.83 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Радиолюбительские схемы на ИС типа 555
Автор: Трейстер Р.Категория: Электротехника и связь
Размер книги: 13.64 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Mastering German vocabulary: a practical guide to troublesome words
Автор: Bruce Donaldson
Размер книги: 1.42 Mb
Санкт-Петербург. Пособие по истории города. Выпуск 1.
Автор: Е.В. ДмитриеваКатегория: Children
Размер книги: 51.01 Mb
Церковныя ведомости с прибавлениями, год двадцать первый, 1908, полугодие второе.
Автор: Святейший Синод
Размер книги: 151.36 Mb
Doing science is fun
Автор: V. G. Kulkarni, Автор: Pradeep Banerjee, Автор: R. M. Bhagwat, Автор: V. G. Gambhir, Автор: A. D. Ghaisas, Автор: Neeru Sharma
Размер книги: 9.19 Mb