- 2 402 202 книги
- Поиск
libcats.org
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Авторы: Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова. Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Популярные книги за неделю:
Хоббит, или Туда и обратно (пер. М. Каменкович, С. Степанов)
Автор: Толкиен Джон Роналд РуэлКатегория: Фэнтези
Размер книги: 1.12 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Только что пользователи скачали эти книги:
Контракт с дьяволом
Автор: Сэйнткроу ЛилитКатегория: Любовно-фантастические романы
Размер книги: 1.02 Mb
Эдгар Райс Берроуз. Страна скрытых людей (др.назв.: Девушка из джунглей)
Автор:
Размер книги: 335 Kb
Альжбета Крутошикова, Михал Угер. Природные и синтетические сладкие вещества (1988, djvu)
Автор:
Размер книги: 1.18 Mb
Трактат об электричестве и магнетизме. В двух томах. (A treatise on electricity and magnetism. Volume I) . Перевод Б.М.Болотовского, И.Л.Бурштейна, М.А.Миллера, Е.В.Суворова
Автор: Максвелл Джемс Клерк, Автор: Под редакцией М.Л.Левина, Автор: М.А.Миллера, Автор: Е.В.Суворова, Автор: Перевод Б.М.Болотовского, Автор: И.Л.Бурштейна, Автор: М.А.Миллера, Автор: Е.В.СувороваКатегория: Физико-математические науки: механика, физика
Размер книги: 22.29 Mb
Сад и огород без химии
Автор: Составитель Э.ХекельКатегория: ДОМ и СЕМЬЯ, ХОББИ и РЕМЕСЛА
Размер книги: 1.40 Mb
Окислительно-восстановительные реакции. Книга для внеклассного чтения учащихся 8-10 классов средней школы. 3-е-издание, переработанное
Автор: Хомченко Г.П., Автор: Севастьянова К.И.Категория: общенаучное и междисциплинарное знание
Размер книги: 3.73 Mb
Gendering Citizenship in Western Europe: New Challenges for Citizenship Research in a Cross-national Context
Автор: Ruth Lister, Автор: Fiona Williams, Автор: Anneli Anttonen, Автор: Jet Bussemaker, Автор: Ute Gerhard
Размер книги: 659 Kb