- 2 402 202 книги
- Поиск
libcats.org
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Авторы: Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова. Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Популярные книги за неделю:
Проектирование и строительство. Дом, квартира, сад
Автор: Петер Нойферт, Автор: Людвиг Нефф
Размер книги: 20.83 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Радиолюбительские схемы на ИС типа 555
Автор: Трейстер Р.Категория: Электротехника и связь
Размер книги: 13.64 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Элементарная теория вероятностей
Автор: Савельев Л.Я.Категория: Mathematics, Probability
Размер книги: 745 Kb
Лабораторная техника органической химии
Автор: Кейл Б.Категория: Практическая химия и ее методы
Размер книги: 10.32 Mb
Kleinkunst - 120 Schachminiaturen
Автор: Palatz, Автор: Massmann, Автор: FabelКатегория: 731301-Книги по шахматной композиции
Размер книги: 3.71 Mb
Telos: A Quarterly Journal of Radical Thought, No. 142 (Spring 2008) issue 142
Автор: Davi Pan and Russell A. Berman (ed)
Размер книги: 925 Kb
A Photographic Atlas of Selected Regions of the Milky Way
Автор: Edward Emerson Barnard, Автор: Gerald Orin Dobek
Размер книги: 124.16 Mb