- 2 402 202 книги
- Поиск
libcats.org
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Авторы: Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова. Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Популярные книги за неделю:
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)
Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Elementary surveying. An introduction to geomatics
Автор: Ghilani C.D., Автор: Wolf P.R.Категория: P_Physics, PGp_Geophysics
Размер книги: 43.64 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Introduction to Chaos in Nonequilibrium Statistical Mechanics
Автор: J. R. Dorfman
Размер книги: 2.32 Mb
Learning Processing: A Beginner's Guide to Programming Images, Animation, and Interaction (Morgan Kaufmann Series in Computer Graphics)
Автор: Daniel Shiffman
Размер книги: 8.15 Mb
A First Course in Numerical Analysis, Second Edition
Автор: Anthony Ralston, Автор: Philip Rabinowitz
Размер книги: 5.47 Mb
Определитель пресноводных беспозвоночных (кроме насекомых) средней полосы Европейской части СССР
Автор:Категория: Животные
Размер книги: 3.75 Mb
Vagabonding an Uncommon Guide to the Art of Long-Term World Travel
Автор: Potts RolfКатегория: fiction
Размер книги: 284 Kb