libcats.org
Главная

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Обложка книги Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

, , , , , ,
Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Популярные книги за неделю:
Только что пользователи скачали эти книги: