Практикум по химии и технологии полупроводников
Угай Я.А. (ред.), Анохин В.З., Гончаров Е.Г.
В практикуме описаны лабораторные работы по химии и технологии полупроводни ков. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химического исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построена Р-Т-х-диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различны, методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полу проводниковых соединений, а также знакомит с основными технологическими опера циями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление).В каждой работе дано теоретическое введение, приводятся схемы приборов и оборудования, методы количественной обработки экспериментальных результатов.
