libcats.org
Главная

Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Обложка книги Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

, ,
This edition reflects the continued evolution of semiconductor technology, describing the equipment used in manufacturing for deposition and etching, such as electrochemical deposition equipment used for plating copper. It emphasizes the measurement of mechanical and thermal properties as well as the use of EELS, energy filtering TEM, and atomic force microscopy. Expert contributors explore recently reported developments in thin film liners and barriers, choices for low-dielectric insulators, address major issues in processing, and cover deposition and etching of metallic films with a focus on electroplated copper. The book also examines the reliability of thin metallic and insulating films and features expanded discussions on copper reliability. Publications and patents are extensively cited throughout the book.
Популярные книги за неделю:

Ключ к сверхсознанию

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 309 Kb

Древо жизни

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 1.70 Mb

Здоровье надо созидать

Автор:
Категория: Здоровье
Размер книги: 363 Kb

Шликерное литье

Автор:
Категория: science, science, technical
Размер книги: 5.98 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:

Blood Sins

Автор:
Категория: Триллер
Размер книги: 564 Kb

D-optimal minimum support mixture designs in blocks

Автор: , Автор:
Размер книги: 213 Kb

Остывший вечер путался меж строк

Автор:
Категория: Поэзия
Размер книги: 1 Kb

Свами Вивекананда - РАДЖА-ЙОГА/

Автор:
Размер книги: 412 Kb

Притчи и истории , том 2

Автор:
Размер книги: 358 Kb

Where the Wild Rose Blooms

Автор:
Категория: fiction
Размер книги: 184 Kb

Millionaire Boss's Reluctant Mistress

Автор:
Категория: fiction
Размер книги: 474 Kb