|
|
libcats.org
Handbook of Semiconductor Interconnection TechnologyGeraldine Cogin Schwartz, K.V. Srikrishnan, Arthur BrossThis edition reflects the continued evolution of semiconductor technology, describing the equipment used in manufacturing for deposition and etching, such as electrochemical deposition equipment used for plating copper. It emphasizes the measurement of mechanical and thermal properties as well as the use of EELS, energy filtering TEM, and atomic force microscopy. Expert contributors explore recently reported developments in thin film liners and barriers, choices for low-dielectric insulators, address major issues in processing, and cover deposition and etching of metallic films with a focus on electroplated copper. The book also examines the reliability of thin metallic and insulating films and features expanded discussions on copper reliability. Publications and patents are extensively cited throughout the book.
Популярные книги за неделю:
Проектирование и строительство. Дом, квартира, садАвтор: Петер Нойферт, Автор: Людвиг Нефф
Размер книги: 20.83 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Радиолюбительские схемы на ИС типа 555Автор: Трейстер Р.Категория: Электротехника и связь
Размер книги: 13.64 Mb
Handbook of Antennas in Wireless CommunicationsАвтор: Lester Packer, Автор: Enrique Cadenas
Размер книги: 37.19 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Фольклор в Ветхом заветеАвтор: Фрезер Джеймс ДжорджКатегория: История, Религиозная литература
Размер книги: 3.03 Mb
Отношение учителей к Единому Государственному Экзамену (по материалам социологического исследования): МонографияАвтор: Собкин В.С.Категория: Народное образование. Педагогика
Размер книги: 4.57 Mb
Eighteenth-Century Satire: Essays on Text and Context from Dryden to Peter PindarАвтор: Howard D. Weinbrot
Размер книги: 6.19 Mb
The Kantian Philosophy of SpaceАвтор: Christopher Browne GarnettКатегория: Общественные науки прочие, Философия
Размер книги: 17.96 Mb
|
|
|