|
|
libcats.org
Principles of Plasma Discharges and Materials ProcessingMichael A. Lieberman, Alan J. LichtenbergA Thorough Update of the Industry Classic on Principles of Plasma Processing
The first edition of Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, published over a decade ago, was lauded for its complete treatment of both basic plasma physics and industrial plasma processing, quickly becoming the primary reference for students and professionals. The Second Edition has been carefully updated and revised to reflect recent developments in the field and to further clarify the presentation of basic principles. Along with in-depth coverage of the fundamentals of plasma physics and chemistry, the authors apply basic theory to plasma discharges, including calculations of plasma parameters and the scaling of plasma parameters with control parameters. New and expanded topics include: * Updated cross sections * Diffusion and diffusion solutions * Generalized Bohm criteria * Expanded treatment of dc sheaths * Langmuir probes in time-varying fields * Electronegative discharges * Pulsed power discharges * Dual frequency discharges * High-density rf sheaths and ion energy distributions * Hysteresis and instabilities * Helicon discharges * Hollow cathode discharges * Ionized physical vapor deposition * Differential substrate charging With new chapters on dusty plasmas and the kinetic theory of discharges, graduate students and researchers in the field of plasma processing should find this new edition more valuable than ever.
Популярные книги за неделю:
Проектирование и строительство. Дом, квартира, садАвтор: Петер Нойферт, Автор: Людвиг Нефф
Размер книги: 20.83 Mb
Система упражнений по развитию способностей человека (Практическое пособие)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 818 Kb
Сотворение мира (3-х томник)Автор: Петров Аркадий НаумовичКатегория: Путь к себе
Размер книги: 817 Kb
Радиолюбительские схемы на ИС типа 555Автор: Трейстер Р.Категория: Электротехника и связь
Размер книги: 13.64 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
Б.И.Анисимов, М.Б.Капитонов. Операционные усилители с непосредственной связью каскадов (djvu)Автор:
Размер книги: 2.11 Mb
Производственный и операционный менеджментАвтор: Чейз Р.Б., Автор: Эквилайн Н.Дж., Автор: Якобс Р.Ф.Категория: Менеджмент
Размер книги: 12.36 Mb
Innovative Assessment in Higher EducationАвтор: Cordelia Bryan, Автор: Karen CleggКатегория: Образование
Размер книги: 967 Kb
Lung Biology in Health and Disease Volume 214 Practical Pulmonary and Critical Care Medicine: Disease ManagementАвтор: Zab Mohsenifar, Автор: Guy W. Soo Hoo
Размер книги: 5.30 Mb
|
|
|