libcats.org
Главная

Основы технологии кремниевых ИС: Окисление, диффузия, эпитаксия

Обложка книги Основы технологии кремниевых ИС: Окисление, диффузия, эпитаксия

Основы технологии кремниевых ИС: Окисление, диффузия, эпитаксия

,
Книга посвящена процессам окисления, диффузии и эпитаксии кремния. По существу изложенный материал охватывает основные процессы планарной технологии - наиболее универсальной современной технологии, позволяющей производить любые полупроводниковые приборы от простейшего диода до сложнейших интегральных субсистем. Использованы малоизвестные или не публиковавшиеся ранее данные и сведения из отчетов фирм и докладов на конференциях. Приведено большое количество графиков и поясняющих схем. В первой части книги описаны свойства силикатных стекол, методы получения окисных пленок на кремнии, электрические свойства пленок окиси па поверхности кремния и МОП-структур и методы их измерения, использование кремниевых окисных пленок в интегральных твердых схемах. Во второй части изложена теория диффузии, приведены экспериментальные данные о диффузии в монокристаллах кремния, рассмотрены методы проведения диффузии. Третья часть посвящена вопросам эпитаксии, технике и методике эпитаксиального наращивания и обсуждению получаемых результатов. Книга полезна разработчикам и технологам полупроводниковых приборов, физикам, физико-химикам и химикам, изучающим явления в полупроводниковых устройствах, а также специалистам, применяющим интегральные схемы. Ее можно рекомендовать в качестве учебного пособия студентам вузов, изучающим физику и технологию полупроводников.
Популярные книги за неделю:

Ключ к сверхсознанию

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 309 Kb

Древо жизни

Автор:
Категория: Путь к себе
Размер книги: 1.70 Mb

Здоровье надо созидать

Автор:
Категория: Здоровье
Размер книги: 363 Kb

Шликерное литье

Автор:
Категория: science, science, technical
Размер книги: 5.98 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:

Последний закат

Автор:
Категория: Фэнтези
Размер книги: 183 Kb

Бесприютный

Автор:
Размер книги: 360 Kb

Клуб непобежденных

Автор:
Категория: Маньяки
Размер книги: 945 Kb

Guardian

Автор:
Размер книги: 1.95 Mb

Stone Angel - with Audrey Shaw

Автор:
Категория: fiction
Размер книги: 87 Kb