Корпускулярно-фотонные процессы и технологии: Учебное пособие
Светцов В.И., Смирнов С.А.
Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальностям ''Материалы и компоненты твердотельной электроники'' и ''Химическая технология материалов и изделий электронной техники''
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
